等离子刻蚀仪

仪器介绍
 
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成，同时两种处理气体流量针阀监控，全部或部分通气口控制。
它的腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，方便使用。
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时，可方便更换抽屉式抽拉系统。
此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀。 
 
主要特点
 
  ● 固态射频发生器及调谐电路
● 全自动控制
● 抽屉式结构
● 两种处理气体
● 紧凑的台式系统 
 

仪器优点 
● 低温灰化过程
● 易操作
● 装/卸样品方便
● 可选择不同的混合气体
● 节省空间
● 注：我们建议使用No. 2泵，它具有“专用的油”。
 

 
技术参数
 

仪器尺寸：450mm W x 350mm D x 300mm H
 
桶形工作腔室：‘Pyrex’160mm L x 110mm Dia.（硼硅酸盐玻璃作为标准配置）

重量：25Kg

拉出式抽屉：样品托盘为抽拉式

等离子输出：射频电源-固态150瓦射频峰值，通常操作范围在25到75 瓦 @ 13.56mhz.
                 (备注：所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频率) 

真空测量范围：完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻度-通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar

数字计时单元：99.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止。

双气体流控制：双气体针阀控制，可选1或2或两种气体（校准5到 100cm3/分 空气 @ A.T.P.）

电源：230V 50Hz (包括泵最大电流5 Amp)；115V 60Hz(包括泵最大电流10 Amp)

Services： Process Gas at nominal 5 psi, (0.33bar)
真空泵：No. 2 泵 (with a synthetic oil 'Fomblin' for Oxygen or Corrosive