小型离子溅射仪

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
Ø       玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm
Ø       试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯
Ø       金靶尺寸：Φ58mm
Ø       真空系统：直联旋片真空泵2L/S
Ø       真空检测：皮氏计
Ø       真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空
Ø       工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节
应用领域：
    金的离子溅射

010-82548216