美国Met One标准粒子发生装置 255

气体尘埃粒子计数器的校正程序 

•  校正所需设备 

•  100 级洁净房或洁净台 

•  一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如 Metone3400 

•  各粒径的标准粒子，如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 

•  标准粒子气体产生器，如 Model 255 

•  可产生脱离水（ DI 水）的纯水系统或类似装置 

•  其它普通电器，如 220V 电源插座，万用表等等 

•  校正的基本原理 

标准粒子（如 0.301um ）通过 255 粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过 0.2um 的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校 0.3um 粒径的测试值。如果其平均值在 20% 以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一定要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。