异质异构集成微系统全国重点实验室揭牌
面向国家重大战略需求，融合集成电路、传感器（885946）、射频器件等于一体的异质异构集成制造，已成为传感器（885946）领域的前沿关键共性技术。通俗来讲，异质异构集成微系统，是将不同材质、功能、特性的物质单元，以多种结构形态集成于一个微系统中形成的功能器件。
本次会议揭牌的异质异构集成微系统全国重点实验室，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国兵器工业第214研究所联合共建，聚焦基础应用研究与前沿技术攻关，着力打造国家级战略科技力量。
该实验室主任赵宇在会上介绍，实验室充分整合双方优势：依托上海微系统所在材料、器件、系统全链条交叉学科方向的基础前沿研究能力与人才培养优势，以及第214研究所在微纳工艺、封装封测等领域的工程化落地能力。下一步，实验室将重点攻关泛在感知、融合通信、无人智能、精确制导等方向，全面支撑我国相关技术自主可控，推动产业高水平发展。
大会现场，三套原创工艺技术与七款新产品正式发布，包括“MEMS-OCS（光交叉互联芯片）微纳集成工艺体系”“CavPiezo（Cavity-SOI Piezo，空腔型绝缘体上硅基压电MEMS 工艺体系）工艺体系”“SMCD（Surface Micromechanical Capacitive Device:表面微机械电容式器件工艺体系）工艺体系”。相关成果填补了国内高端传感、导航测控、新能源（850101）安全、智能无人装备等领域多项技术空白。
多重政策支持智能传感产业发展
作为国内三大传感器（885946）研发制造基地之一，蚌埠深耕MEMS传感器（885946）产业30余年。目前，当地集聚智能传感器（885946）相关企业200余家，年产业产值突破100亿元，是国内少数同时拥有集成电路和MEMS晶圆生产线的城市。
为加速智能传感产业发展，蚌埠先后出台《蚌埠市推动智能传感产业高质量发展若干政策》《关于支持智能传感产业人才发展的十条措施》等专项举措，设立总规模超70亿元的智能传感产业发展基金，构建起涵盖材料装备、研发设计、晶圆制造、封装测试、终端应用的产研一体、链群共生的发展格局。
在2025年度“全国十大高质量传感器（885946）园区”评选中，位于蚌埠的中国传感谷位列全国第六。园区汇聚多个顶尖科创平台，包括精密微纳制造技术全国重点实验室长三角（蚌埠）产教融合中心、龙湖实验室（脑机接口（886047）医工交叉学科平台）、国家玻璃新材料创新中心等，现有省级以上科创平台43个，其中国家级科创平台7个。
会上，安徽省科技厅人工智能（885728）科学技术处副处长吴锐作《关于支持中国传感谷发展若干政策（2.0版）》政策解读。其中明确，对支持晶圆制造、封装测试、终端集成等企业实施的新型技术改造项目，最高给予500万元奖补；针对产业发展“最紧急、最紧迫”的技术需求，单个项目省级支持资金可突破1亿元。
“我们大力支持场景供给与应用，并面向全球招引场景能力企业与高校院所共同实施，根据场景开发投入的20%给予最高100万元的支持；同时，对于智能传感器（885946）产品在政府采购、首购订购方面，我们依法依规给予大力支持。”吴锐表示。
此外，蚌埠在会上创新推出首轮MEMS工程流片券政策。蚌埠市科技局副局长闻建忠介绍，流片券是为鼓励企业加大科技投入的政策支持，可覆盖企业每年2至3款产品研发试产需求。凡是落户本地的智能传感企业，因新产品研发需委托第三方晶圆制造厂开展工程流片的，均可免费申请。
根据规则，企业可按其流片费用的50%申领补助，单家企业年度补助总额最高500万元。该项政策将有效降低企业MEMS工程流片成本，加速芯片、器件、模组等关键技术研发与成果转化。
